Si細線導波路(<特集>導波路型光デバイス論文)
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概要
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Si細線導波路は0.5μm角以下の微小断面をもつSiをコアとし, 波長1.3〜1.6μmを伝搬帯とする単純なチャネル導波路である. この導波路では, コアとクラッドの巨大な比屈折率差のおかげで, 半径数μmの微小曲げにおいても十分な低損失が得られる. 更に時間領域有限差分法を用いた精密な設計により, 損失0.3dB以下の微小な分岐と交差も可能になる. これらをうまく組み合わせると, 小型のHトリー型光信号分配回路, マッハツェンダ干渉計, アレー導波路回折格子などが実現される. この導波路には, 従来の様々なシリカ系素子を劇的に微小化する可能性があり, 高密度, 高機能な光集積回路の母体として発展することが期待される.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-06-01
著者
-
馬場 俊彦
横浜国立大学電子情報工学科
-
坂井 篤
横浜国立大学工学部電子情報工学科
-
馬場 俊彦
横浜国立大学工学研究院
-
馬場 俊彦
横浜国大・工
-
馬場 俊彦
横浜国立大学
-
坂井 篤
横浜国立大学大学院工学研究院
-
深澤 達彦
横浜国立大学大学院工学研究院
-
大野 文彰
横浜国立大学大学院工学研究院
-
馬場 俊彦
横浜国大 大学院工学府
-
馬場 俊彦
横国大院工
-
馬場 俊彦
横浜国立大学大学院工学研究院:jst-crest
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