サブミクロン円柱2次元フォトニック結晶の製作
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概要
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フォトニック結晶は微細な多次元周期構造であり、発光を制御する構造として注目されている。本研究では、光半導体に円柱を配列する2次元フォトニック結晶を形成し自然放出光を制御した高効率発光デバイス実現を目指している。材料として、半導体微細加工に対する表面再結合が小さい1.3〜1.55μm帯GaInAsP/InPを採用しサブミクロンオーダーの加工条件、周期構造中の発光特性の変化等について報告してきた。今回、多極マスクを用いた新しいドライエッチングプロセスを検討することによって、設計値に近いディープサブミクロン構造を形成できたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
-
馬場 俊彦
横浜国立大学電子情報工学科
-
馬場 俊彦
横浜国立大学工学研究院
-
馬場 俊彦
横浜国立大学
-
池田 充貴
横浜国立大学工学部電子情報工学科
-
神澤 尚久
横浜国立大学工学部電子情報工学科
-
馬場 俊彦
横浜国立大学大学院工学研究院:jst-crest
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