コンタクトの表面形状変化の可視化に関する基礎検討
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概要
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コンタクトの開閉動作による電極表面形状の変化の可視化について, 形状計測データに含まれる特徴的な微小変化を保って, 誤差信号を除去するディジタル画像処理手法を検討した. 既存の方法では, 平滑化フィルタによって微小な変化が打ち消され, あるいは特徴強調の処理を行うとノイズが強調される問題がある. これらを改善する方法として, 非線形フィルタおよび, 形状変化のパターンに対して係数が変化するフィルタを用いる方法を考案し, 処理を行った. その結果, 計測によるノイズの除去と溝, 畝などの微小な変化の強調が両立できることを示した.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-08-28
著者
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