ハードディスク媒体用スパッタカーボン系保護膜
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概要
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ハードディスク媒体の磁性層であるCoCr膜の上に機械的耐久性を向上させるためスパッタカーボン保護膜を堆積させた場合、堆積初期5nm程度の領域は、通常考えられているDLC(ダイヤモンド状カーボン)とはなっておらず、炭素原子の結合エネルギーの低い状態の膜となっている。窒素をスパッタガスとして成膜した窒化Cr上に堆積したスパッタカーボン膜の場合は、堆積初期からDLCが生成する。このCr膜を磁性層であるCoCr膜上に1nmつけることによって、その上に堆積するカーボン膜の堆積初期における炭素原子の結合エネルギーの低下が抑えられ、機械的耐久性が向上した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-05-16
著者
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