シリコン細線導波路システム : 基本特性と機能デバイスへの応用(<特集>導波路型光デバイス論文)
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概要
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本論文ではシリコン細線導波路の基本導波特性の改善と, 各種機能デバイスへの適用について述べる. シリコン細線導波路システムの最も大きな問題でる光ファイバとの接続については, シリコン細線の極細テーパと酸窒化珪素系導波路とから構成されるスポットサイズ変換構造により, 0.5dBの低損失結合が可能となった. また伝搬損は, 導波路コア側壁のラフネス低減により, 2.4dB/cmにまで低減され, 実用レベルの基本導波特性が得られた. このシリコン細線導波路を用いたリング共振器やラティスフィルタは良好に動作し, 超小型光回路への適用性が確認された. 更に, 微小断面コアにおける高エネルギー密度効果として, 四波混合や二光子吸収キャリヤの効果が確認され, 非線形デバイスへのポテンシャルも見出された.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-06-01
著者
-
内山 真吾
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
土澤 泰
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
渡辺 俊文
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
福田 浩
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
板橋 聖一
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
福田 浩
日本電信電話株式会社NTT通信エネルギー研究所
-
高橋 淳一
日本電信電話株式会社 マイクロシステムインテグレーション研究所
-
土澤 泰
Nttマイクロシステム研
-
荘司 哲史
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山田 浩治
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
土澤 泰
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
渡辺 俊文
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
高橋 光俊
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
為近 恵美
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
板橋 聖一
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
森田 博文
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山田 浩治
Nttマイクロシステム研
-
為近 恵美
NTT通信エネルギー研究所
-
為近 恵美
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
高橋 淳一
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
為近 恵美
日本電信電話
-
福田 浩
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
内山 真吾
日本電信電話株式会社
-
高橋 淳一
日本電信電話株式会社
-
山田 浩治
Institute for Photonics-Electronics Convergence System Technology:NTT Microsystem Integration Laboratories
-
内山 真吾
日本電信電話(株)マイクロシステムインテグレーション研究所
-
山田 浩治
NTT
-
高橋 淳一
日本電信電話先端総研
-
高橋 淳一
日本電信電話(株)先端技術総合研究所
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