キャリア注入型シリコンVOAと石英系AWGのモノリシック集積(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),シリコンフォトニクス,光ファイバ,一般)
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概要
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Si細線光導波路にPINダイオード構造を付与したキャリア注入型可変光減衰器(Si-VOA)と,比屈折率差(Δ)が3%の石英系光導波路によるAWGを,スポットサイズ変換器を介して接続し,さらにそれらをモノリシック集積したデバイスについて報告する.ECRプラズマCVD法を用いることで,低温での石英系光導波路の作製を実現し,作製した集積デバイスが入力光を200GHz間隔で16チャネルに分波し,さらにSi-VOAの各チャネルにおいて50MHzの3dB減衰帯域が得られ,高速光減衰動作することを確認した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2010-12-10
著者
-
土澤 泰
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
西 英隆
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
渡辺 俊文
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山田 浩治
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
篠島 弘幸
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
板橋 聖一
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
西 英隆
Nttマイクロシステム研
-
土澤 泰
Nttマイクロシステム研
-
篠島 弘幸
日本電信電話(株)nttマイクロシステムインテグレーション研究所
-
山田 浩治
Nttマイクロシステム研
-
高 磊
NTTマイクロシステムインテグレーション研
-
篠島 弘幸
Nttマイクロシステムインテグレーション研
-
朴 成鳳
Nttマイクロシステムインテグレーション研
-
土澤 泰
Nttマイクロシステムインテグレーション研
-
渡辺 俊文
Nttマイクロシステムインテグレーション研
-
山田 浩治
Nttマイクロシステムインテグレーション研
-
西 英隆
Nttマイクロシステムインテグレーション研
-
板橋 聖一
Nttマイクロシステムインテグレーション研
-
山田 浩治
Institute for Photonics-Electronics Convergence System Technology:NTT Microsystem Integration Laboratories
-
西 英隆
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所:NTTナノフォトニクスセンタ
-
高 磊
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所:日本電信電話株式会社ナノフォトニクスセンタ
-
土澤 泰
日本電信電話株式会社NTTマイクロシステムインテグレーション研究所:日本電信電話株式会社ナノフォトニクスセンタ
-
山田 浩治
NTT
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