シリコン細線導波路におけるスポットサイズ変換及びファイバ接続(光部品・光デバイスの実装・信頼性,一般)
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概要
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逆テーパ型に先端を100nm以下に形成したSi細線導波路とシリカ系材料の導波路とを重ねて構成したスポットサイズ変換器構造、及び、それを利用したSi細線導波路と光ファイバとの接続について報告する。
- 2011-04-15
著者
-
板橋 聖一
NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
高原 秀行
Nttアドバンステクノロジ株式会社
-
森田 博文
日本電信電話株式会社 NTTマイクロシステムインテグレーション研究所
-
高原 秀行
Nttアドバンステクノロジ株式会社先端プロダクツ事業本部光プロダクツビジネスユニット
-
森田 博文
NTTアドバンステクノロジ株式会社先端プロダクツ事業本部ナノテクビジネスユニット
-
板橋 聖一
NTTアドバンステクノロジ株式会社先端プロダクツ事業本部ナノテクビジネスユニット
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