X線リソグラフィによるサブ1/4μmLSI試作
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概要
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- 1996-11-28
著者
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出口 公吉
NTTシステムエレクトロニクス研究所
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松田 維人
NTTシステムエレクトロニクス研究所
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内山 真吾
日本電信電話株式会社 Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
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内山 真吾
Nttシステムエレクトロニクス研究所
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岡田 育夫
Nttシステムエレクトロニクス研究所
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小田 政利
日本電信電話(株)NTT通信エネルギー研究所
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小田 政利
NTTシステムエレクトロニクス研究所
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関本 美佐雄
NTTシステムエレクトロニクス研究所
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出口 公吉
Nttシステムエレクトニクス研究所
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