レーザ干渉法による超音波音圧の絶対測定
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概要
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産業技術総合研究所では, 超音波音圧標準の確立を目指して研究を行っている.本稿ではMHz帯ハイドロホンの感度校正を行なうために構築中のレーザ干渉計による音圧測定系について報告する.本測定系は超音波による薄膜の振動振幅をマイケルソン干渉計で測定するが, 測定を妨げる最大の要因である外部振動の影響を軽減するためにフィードバック系を導入している.このフィードバック系が測定結果に与える影響を調べた.また, 薄膜と振動子のセッティングによる測定結果のばらつきと, ハイドロホンによる測定値と比較した結果についても述べる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-12-12
著者
-
佐藤 宗純
産業技術総合研究所
-
永広 憲司
明治大
-
佐藤 宗純
秋田県大 システム科学技術
-
吉岡 正裕
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所, 計測標準研究部門
-
永広 憲司
明治大学理工学部
-
佐藤 宗純
NMIJ 産総研
-
吉岡 正裕
産業技術総合研
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所nmu(計測標準研究部門)
-
菊池 恒男
産業技術総合研究所 計測標準研究部門
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