超高真空蒸着装置で作製した金属人工格子薄膜の磁気特性
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概要
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金属人工格子膜において、MR特性は作製法に依存するとされている。そこでCo, Cu、NiFeCo/Cuを超高真空蒸着装置(UHV)で作製し、スパッタリング装置で作製した膜と比較した。その結果、Co/CuでX線の小角散乱によるピークが確認され、MR変化率が15%を示した。しかし、NiFeCo/CuはX線の小角散乱によるピークも不明確で、MR変化率は2%以下であった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-09-17
著者
-
里見 三男
松下電器 先端技術研究所
-
入江 庸介
松下電器中研
-
榊間 博
松下電器 中尾研
-
榊間 博
松下電器産業(株)中尾研究所
-
里見 三男
松下電器産業(株)
-
入江 庸介
松下電器産業(株)中央研究所
-
榊間 博
松下電器先端技術研究所:奈良先端科学技術大学院大学
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