13p-W-6 回転磁界中で作成した非晶質合金スパッター膜の諸特性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1983-09-13
著者
-
里見 三男
松下電器中研
-
榊間 博
松下電器中研
-
里見 三男
松下電器 先端技術研究所
-
榊間 博
松下電器 中尾研
-
里見 三男
松下電器産業(株)
-
黒江 章郎
松下電器中研
-
榊間 博
松下電器先端技術研究所:奈良先端科学技術大学院大学
-
黒江 章郎
松下電器産業株式会社映像研究所
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