PRS法で作製したFeSi/FeSiO多層膜の軟磁気特性
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概要
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The soft magnetic properties of Fe(Si)/Fe(Si)O multilayered films were investigated. The films were prepared by the pulse-reactive sputtering (PRS) method, which enables multilayered films to be deposited as fast as single films. The soft magnetic properties of the as-prepared films were improved by adding Si. The films show B_s of 1.82-1.87 T and μ_i' of around 1000 at 300 MHz. A film with B_s of 1.82 T shows μ_i' of around 1000 at 350 MHz, even after patterning into 18.5 μm-wide stripes.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1999-03-01
著者
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榊間 博
奈良先端科学技術大学院大学
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榊間 博
松下電器中研
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平本 雅祥
松下電器先端技術研究所
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松川 望
松下電器産業 先端技研
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松川 望
松下電器
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榊間 博
松下電器 中尾研
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平本 雅祥
松下電気産業(株)中央研究所
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松川 望
松下電気産業(株)中央研究所
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榊間 博
松下電気産業(株)中央研究所
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榊間 博
松下電器先端技術研究所:奈良先端科学技術大学院大学
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榊間 博
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科:松下電器産業(株)先端技術研究所
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