パレス反応性スパッタリングによるFe/Fe-O人工格子膜作成と界面の熱安定性
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概要
著者
-
榊間 博
奈良先端科学技術大学院大学
-
平本 雅祥
松下電器産業(株)先端技術研究所
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松川 望
松下電器産業(株)先端技術研究所
-
榊間 博
松下電器中研
-
市川 洋
松下電器産業(株)中央研究所
-
平本 雅祥
松下電器先端技術研究所
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松川 望
松下電器産業 先端技研
-
松川 望
松下電器
-
榊間 博
松下電器 中尾研
-
榊間 博
松下電器産業(株)中尾研究所
-
飯島 賢二
松下電器産業(株)
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榊間 博
松下電器先端技術研究所:奈良先端科学技術大学院大学
-
平本 雅祥
松下電器産業
-
榊間 博
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科:松下電器産業(株)先端技術研究所
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