電子線リソグラフィシミュレーション用現像パラメータ測定システムの開発
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概要
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形状シミュレーションの計算精度は入力するパラメータの精度によるところが大きい.特にレジストの現像特性を示す現像パラメータは形状シミュレーションの精度(レジストの形状や感度)に大きな影響を与える.しかし, 電子線リソグラフィについては, これまで現像パラメータの計算手法や, それらのパラメータを用いたシミュレーション結果と実際の形状との比較に関してはほとんど検討されていなかった.そこで, 電子線リソグラフィシミュレーション用の現像パラメータ測定システムを開発し, 現像パラメータの計算手法を検討するとともにシミュレーション結果と実際の形状との比較を試みたので報告する.具体的には, ジアゾナフトキノン(DNQ)ノボラック系電子線ポジ型レジスト及び化学増幅系電子線ポジ型レジストを用い, それぞれに藤野の現像速度式及びMackの現像速度式を適用し, それぞれの現像パラメータの推算を試みた.求めたパラメータを電子線リソグラフィシミュレータProBEAM / 3Dに入力し, 電子線レジスト像をシミュレートして, 実際のレジスト像のSEM観察結果と比較した.その結果, ノボラック系電子線ポジ型レジストでは, 藤野, Mack両方の現像速度式ともに精度良く現実を再現できるが, 化学増幅系電子線ポジ型レジストでは, Mackの現像速度式の方が現実をよく再現できることがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2000-03-25
著者
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