極薄シリコン酸化膜におけるPre-Breakdown現象のキャリヤセパレーション法による解析
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概要
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ゲート酸化膜の絶縁破壊前に見られる異常リーク現象をキャリヤセパレーション法により解析した.ほとんどの異常リーク電流ではゲートからの電子電流のみが支配的であり,電子の平均基板入射エネルギーは様々な値をとり得る.これは酸化膜中の中性トラップクラスタ付近でポテンシャル障壁が局所的に弱められることに起因するリーク電流であるというモデルにより定性的に説明される.一部の異常リーク電流では電子電流に加え反転層からの正孔電流が同程度生じる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-04-01
著者
-
谷口 研二
大阪大学大学院工学研究科
-
鎌倉 良成
大阪大学大学院工学研究科電気電子情報工学専攻
-
鎌倉 良成
大阪大学大学院工学研究科
-
石田 明寛
大阪大学大学院工学研究科電子情報エネルギー工学専攻:(現)ソニー株式会社
-
Taniguchi K
Osaka Univ. Osaka Jpn
-
宇野 重康
大阪大学大学院工学研究科電子情報エネルギー工学専攻
-
宇野 重康
大阪大学大学院工学研究科電子情報エネルギー工学専攻:(現)日立ヨーロッパ社
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