X線光電子分光法におけるC1sスペクトル波形解析によるダイヤモンド薄膜の評価
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概要
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X線光電子分光法(XPS)を用いて, C1sスペクトルの形状解析より, ダイヤモンド薄膜の解析評価を試みた.その結果C1sスペクトルの半値幅, ピークの対称性の解析より, XPSがダイヤモンド薄膜の評価, 及び膜の構造解析に有効な分析法であることを明らかにした.
- 1993-03-05
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