巨大クラスターイオン衝撃によるX線光電子分光法の深さ方向分析の展開
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概要
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数千個以上の原子や分子から構成されるクラスターイオン照射法がX線光電子分光法（XPS）での高分子材料の深さ方向分析法として注目が集まっている．クラスターイオンエッチング法は試料損傷を軽減できる低エネルギー照射法である．著者らは帯電液滴巨大水クラスターイオンである帯電液滴をXPSと組み合わせ，高分子材料の深さ方向分析を試みた．その結果，高分子材料の化学組成・結合状態への損傷が著しく軽減し，高分子材料に対するXPSの深さ方向分析に対し有効であることが判明した．
- 公益社団法人 日本分析化学会の論文
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