黒鉛炉原子吸光法及び誘導結合プラズマ発光分析法による二ケイ化モリブデン中の微量不純物の定量
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概要
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超LSI材料として用いられる二ケイ化モリブデン中の不純物であるナトリウム, カリウムなどの極微量定量法を確立した.試料をテフロンビーカーに取り, フッ化水素酸及び硝酸で加熱分解後, 硫酸を加え白煙が生ずるまで加熱しケイ素を揮散させる.更に, 不純物元素を陽イオン交換樹脂に吸着させマトリックスより除去する.次に, 硝酸を用いて不純物を溶出させる.これより一定量を分取して, 黒鉛炉AAS及びICP-AESにより定量を行う.本法は二ケイ化モリブデン中の19元素(Ca, Mg, TiはICP-AES)を0.0n ppmから0.0n%まで精度よく定量できる.高純度モリブデンの分析にも適用可能である.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1990-01-05
著者
-
山田 圭
物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
小林 剛
物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
山 田
物質・材料研 究機構
-
大河内 春乃
東京理科大学
-
大河内 春乃
科学技術庁金属材料技術研究所
-
山口 仁志
独立行政法人物質・材料研究機構分析ステーション
-
山口 仁志
物質・材料研究機構
-
山 田
物質・材料研究機構分析支援ステーション
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