陽イオン交換分離 : 黒鉛炉原子吸光法及び誘導結合プラズマ発光分析法による二ケイ化タングステン中の微量不純物の定量
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概要
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超LSI材料として用いられる二ケイ化タングステン中の不純物であるナトリウム, カリウムなどの極微量定量法を確立した.試料をテフロンピーカーにはかり取り, フッ化水素酸及び硝酸で加熱分解後, 過塩素酸を加え白煙が生ずるまで加熱しケイ素を揮散させる.更に, 不純物元素を陽イオン交換樹脂に吸着させタングステンマトリックスより分離する.次に, 硝酸を用いて不純物を溶出させ, 定容とする.この試料溶液を黒鉛炉AAS及びICP-AESにより分析する.本法は二ケイ化タングステン中の15元素(Al, Ca, Cd, Co, Cr, Fe, Ga, K, Mg, Mn, Na, Ni, Pb, Ti, Zn)を0.0n ppmから0.0n%まで精度よく定量できる.高純度タングステンの分析にも適用可能である.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1993-03-05
著者
-
山田 圭
物質・材料研究機構分析支援ステーション
-
山 田
物質・材料研 究機構
-
鯨井 脩
金属材料技術研究所
-
山口 仁志
独立行政法人物質・材料研究機構分析ステーション
-
長谷川 良佑
科学技術庁金属材料技術研究所
-
長谷川 良佑
金属材料技術研究所
-
山口 仁志
物質・材料研究機構
-
山 田
物質・材料研究機構分析支援ステーション
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