陽イオン交換分離/誘導結合プラズマ発光分析法による炭化ケイ素中のアルミニウム及びカルシウムの定量
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概要
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炭化ケイ素中の不純物であるアルミニウム及びカルシウムの定量法を確立した.試料を白金るつぼに量り取り, 炭酸ナトリウムを用いて溶融する.次に溶融物を塩酸で溶解して酸性にし, 更に過塩素酸を加えて加熱し, 白煙処理を行った後, 生成した二酸化ケイ素を濾別し, 陽イオン交換樹脂を用いて不純物元素を吸着させマトリックスを除去する.硝酸を用いて不純物を溶出させ, 溶離液を定容としてICP-AESにより定量を行う.本法は炭化ケイ素中のアルミニウム及びカルシウムをppmから%オーダーの濃度範囲で精度よく定量できる.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 1991-06-05
著者
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