アルゴン/ヘリウム共用誘導結合プラズマにおける冷却ガスの検討
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概要
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アルゴン誘導結合プラズマ(ICP)のランニングコストの低減とヘリウムICPの高出力化を実現し,かつプラズマガスの変更だけでアルゴンICPとヘリウムICPを生成できる,ガス冷却アルゴン/ヘリウム共用ICPトーチを開発した.このトーチでは冷却ガスをプラズマの軸方向に排出する形状となっているため,冷却ガスがプラズマ中に混入することが懸念される.そこで,冷却ガスの流量と種類がアルゴンICP及びヘリウムICPに与える影響を分光手法を用いて測定した.その結果,適切な冷却ガス種と流量を選択することにより,逆に冷却を行わない場合よりもプラズマヘの大気の混入を低減できることが明らかとなった.
- 社団法人日本分析化学会の論文
- 2004-08-05
著者
-
宮原 秀一
東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
-
沖野 晃俊
東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
-
宮原 秀一
東京工業大学大学院:(株)プラズマコンセプト東京
-
堀田 栄喜
東京工業大学
-
堀田 栄喜
東京工業大学大学院
-
沖野 晃俊
東京工業大学
-
土肥 隆行
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
水澤 陽一
東京工業大学大学院総合理工学研究科
-
宮原 秀一
東京工業大学
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