パルス変調によるヘリウム誘導結合プラズマの生成とその特性測定

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概要

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大気圧ヘリウム誘導結合プラズマは,その高いイオン化能力によりハロゲン元素及び非金属元素に対しても有効であるために,分析用の光源やイオン源として注目されている.しかし,プラズマトーチの溶融などの問題により入力電力を大きくできないという欠点を持っている.そこで本研究では,低電力でプラズマを維持し,数Hzから数kHzで変調した高電力パルスを加える,パルス変調ヘリウム誘導結合プラズマ発生装置を作製し,その特性を分光により測定した.パルス幅1ms,パルス変調周波数66.7Hz,プラズマ維持電力400Wのとき,外部冷却なしで1600Wのパルス電力を印加することができた.そのとき,パルスピークの励起温度は維持電力時よりも1100K高い4900Kであった.また,定電力運転で観測された発光強度及び励起温度の飽和傾向がパルス電力運転では観測されなかった.
2002-02-05

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