大気圧トーラス形状高純度プラズマの生成
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概要
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A new argon gas atmospheric pressure toridal plasma source in a quartz discharge tube has been developed to obtain a highly pure and dense plasma. The initial plasma is obtained at a pressure of around 5 Torr in the discharge tube by the RF induced E field. By adding the argon gas vortex flow to insulate the plasma from the wall, a stable toroidal plasma is sustained up to 760 Torr at 7.8 kW RF power (2MHz) . The argon gas flow speed in the discharge tube is observed by the visualization method. The argon emission intensity distribution, excitation temperature and electron number density are measured by spectroscopic method.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1993-10-25
著者
-
沖野 晃俊
東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
-
嶋田 隆一
東京工業大学原子炉工学研究所
-
玉川 徹
東芝
-
玉川 徹
(株)東芝
-
安岡 康一
東工大総理工
-
沖野 晃俊
東京工業大学
-
野村 雄二
東京工業大学原子炉工学研究所
-
石塚 博明
東京工業大学原子炉工学研究所
-
佐藤 健
(株)東芝
-
安岡 康一
(株)東芝
-
嶋田 隆一
東京工業大学
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