大気圧マルチガスプラズマ源の開発と産業応用(研究技術ノート)
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概要
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大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず,物質への連続照射が可能であるため,低コストな高速処理が可能である.このため,ここ数年,塗装性や接着性向上,表面クリーニングなどに使用され始めている.従来の大気圧プラズマ源では使用できるガスに制限があったが,筆者らは様々なガスをプラズマ化できる,マルチガスプラズマ源を開発した.本稿では,3種類の大気圧マルチガスプラズマ源およびその応用例について記述する.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2010-01-25
著者
-
宮原 秀一
東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
-
重田 香織
東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
-
永田 洋一
東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
-
沖野 晃俊
東京工業大学大学院総合理工学研究科創造エネルギー専攻
-
重田 香織
東京工業大学大学院
-
重田 香織
中央大学
-
佐々木 良太
東京工業大学大学院
-
岩井 貴弘
東京工業大学大学院
-
宮原 秀一
東京工業大学大学院:(株)プラズマコンセプト東京
-
沖野 晃俊
東京工業大学大学院:(株)プラズマコンセプト東京
-
沖野 晃俊
東京工業大学
-
沖野 晃俊
Optics & Photonics Japan 2006 推進委員会
-
永田 洋一
東京工業大学大学院
-
沖野 晃俊
大阪大学工学部応用物理学科
-
佐々木 良太
東京工業大学
-
宮原 秀一
東京工業大学
-
岩井 貴弘
東京工業大学理工学研究科地球惑星科学専攻
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