ダブルボア放電管を持ったMIP共振器の解析
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概要
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In this work a new <B>M</B>icrowave <B>I</B>nduced <B>P</B>lasma (MIP) source with an axially-varied bore discharge tube was developed, which is able to introduce liquid aerosols directly into the plasma. The resonant frequency and electric field in the MIP TM<SUB>010</SUB> cavity were calculated using the finite element method. The axially-varied tube highly enhanced the electric field on the edge at the center of the plasma discharge tube.<BR>To confirm the effect of the discharge tube newly developed, the electron number density and the plasma temperatures were measured. The result shows that the density and the temperatures were both elevated. Accordingly, the calculation seems to be qualita tively adequate.
- 社団法人 日本分光学会の論文
著者
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沖野 晃俊
東京工業大学
-
内田 照雄
大阪大学工学部応用物理学教室
-
宮武 健一郎
住友電気工業株式会社
-
南 茂夫
摂南大学工学部物理学教室
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宮武 健一郎
住友電気工業
-
沖野 晃俊
東京工業大学原子炉工学研究所
-
内田 照雄
大阪大学工学部
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