ワイヤ・イオン・プラズマ源の直流放電特性
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概要
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DC dlscharge characteristics of a wire ion plasma source (WIPS) are presented. The WIPS consists of a thin wire anode and a coaxial cathode cylinder with end plates having central apertures. ,This electrode configuration produces a radial logarithmic potential distribution, which trapps electrons effciently near the wire anQde together with the axial electric field formed near the aperture electrodes, and enables discharges of extremely low pressure gases only by applying low voltage. The WIPS has a potential to be used as an ion source for the secondary emission electron gun.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1994-05-25
著者
-
前山 光明
埼玉大学大学院 理工学研究科
-
堀田 栄喜
東京工業大学
-
玉川 徹
東芝
-
玉川 徹
(株)東芝
-
堀田 栄喜
東工大工
-
浦井 一
東京工業大学
-
安井 祐之
(株)東芝
-
玉川 徹
株式会社東芝
-
大澤 輝也
東京工業大学
-
安井 祐之
株式会社東芝
-
前山 光明
埼玉大
-
前山 光明
埼玉大学・工
-
前山 光明
埼玉大学
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