ウェハローブを用いた薄膜インダクタの高周波インピーダンス測定
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概要
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This paper discusses measurement of the impedance of thin-film inductors up to the GHz frequency range.We made thin-film inductors based on the silicon process, and investigated a technique for measuring their high-frequency impedance by means of a waferprobe.A waferprobe with precise dimensions permits impedance matching between the inductor and the measurement instrument. We improved the reading of the measurement data and measured the inductance of thin-film inductors accurately up to the GHz frequency range.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1998-04-15
著者
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