微細形状磁性薄膜の高周波インピーダンス解析 (<特集>計測・磁気応用)
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概要
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This paper reports an analysis of the high-frequency impedance of micromachined soft-magnetic thin films. The impedance changes according to the directions of the easy axis orientation and the dc magnetic field to be sensed. Investigation of CoZrNb films clarified that the change in permeability with the applied dc magnetic field can be explained by the bias susceptibility theory. Moreover, the change in the impedance of micromachined films can be estimated quantitatively on the basis of the dc field dependence of the permeability.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 1997-04-15
著者
-
荒井 賢一
東北大学電気通信研究所
-
竹澤 昌晃
東北大学電気通信研究所
-
菊池 弘昭
東北大学電気通信研究所
-
山口 正洋
東北大学電気通信研究所
-
山口 正洋
東大 大学院医学系研究科
-
菊池 弘昭
岩手大学
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