小型のシリコンCZ炉内の酸素輸送とマランゴニ効果(<小特集>バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
This article discusses the influence of the Marangoni effect on melt flow and oxygen transport in a small silicon Czochralski furnace, based on recent results of global simulation conducted by the authors. Oxygen transfer rate is controlled by the mass-transfer resistances in melt and gas phases. The Marangoni effect exerts a significant change of flow pattern of melt near the gas/liquid interface. The Marangoni effect takes an important roll in modulating the distributions of temperature and oxygen concentration near the interface and consequently the over-all oxygen transport rate. Installing a heat shield provides large shear stress onto the melt surface from the gas flowing along.The Marangoni effect counteracts the stress and minimizes the induced eddy flow and increases oxygen evaporation rate.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2000-12-15
著者
関連論文
- その他の分野
- CMPプロセスにおける研磨粒子ダイナミクスの解明
- InSb融液中へのGaSb溶解に対する自然対流とマランゴニ対流効果
- 微小重力環境下と地上におけるInSb融液中へのGaSb溶解実験
- 3424 溶融スズによる低Pr流体の液柱マランゴニ対流(S89-2 微小重力・宇宙環境利用(2),S89 微小重力・宇宙環境利用)
- 単結晶育成用CZ炉の数値解析
- シリコン液柱における振動マランゴニ対流の観測
- シリコンメルト液柱における振動マランゴニ対流の観測
- Pr=0.01流体のマランゴニ対流実験研究 - 振動流遷移におけるアスペクト比の影響 -
- Pr=0.01流体のマランゴニ対流実験研究(2)-振動流遷移過程の観察-
- 01aC04 三次元非定常融液対流を考慮した酸化物単結晶育成CZ炉の総合熱解析(結晶成長基礎(1),第36回結晶成長国内会議)
- 温度及び濃度勾配共存下での低分子多成分系液膜層内相分離現象(オーガナイズドセッション4 材料創成プロセスと熱工学)
- シリコン単結晶成長に関する最近の数値シミュレーション技術と熱物性値
- 二液相分離過程を伴うベナール対流系のパターン形成メカニズム
- 酸化物融液表面上のスポークパターンに及ぼす諸因子の影響(機能性結晶IV)
- F209 酸化物単結晶内熱応力に及ぼす融液内対流及び内部輻射伝熱の影響(オーガナイズドセッション17 : 材料およびデバイス製造の熱工学)
- 多成分流体混合系のパターン形成に及ぼす重力の影響
- 小型のシリコンCZ炉内の酸素輸送とマランゴニ効果(バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)
- 24aA1 総合熱解析によるCZ酸化物単結晶育成プロセスに及ぼす諸因子の検討(バルク成長VI)
- 22pA7 Si Cz炉総合熱流動解析(バルク成長シンポジウム)
- 高周波加熱によるFloating Zone法による単結晶育成プロセスの熱解析
- 電磁浮遊炉内のシリコン液滴の挙動に及ぼす操作条件の影響
- SiCz炉総合熱解析に及ぼす結晶面輻射特性の影響
- 一様直流電場印加時の複合液滴の挙動に関する理論及び実験的研究
- 2-ブロモデカン酸による混合溶液中からのGaの抽出に及ぼす共存Alの影響
- CZ法による単結晶育成時の輸送現象に関する数値シミュレーション (「スーパーコンピューティングと複雑系としての流体科学」SCFS '97)
- 複合液滴の挙動に及ぼす直流電場の影響
- 一様直流電場下での誘電性液体中の液滴の挙動
- 材料化学工学
- 低Pr数流体液柱マランゴニ対流の第一遷移の観察(オーガナイズドセッション4 材料創成プロセスと熱工学)
- 低Pr数流体液柱の振動マランゴニ対流遷移過程の実験研究
- B234 低プラントル数流体の液柱マランゴニ振動流遷移過程
- 枚葉式CVD装置によるシリコンエピタキシャル成長の数値解析
- 低 Pr 流体液柱内の3次元マランゴニ対流の数値シュミレーション
- W-CVDプロセスの反応機構と微細形状シミュレーション
- 非線形表面反応に対応したカバレッジ形状シミュレーション
- 4. CVD の化学工学 小型反応器を利用した解析とモデリング
- 新素材製造プロセスの解析
- 数値シミュレーションと熱物性
- 03aA03 単結晶成長プロセスのシミュレーション技術の現状と将来(バルク成長シンポジウム(1),第36回結晶成長国内会議)
- 非接触レーザー周期加熱カロリメトリーによるシリコン融体の熱容量および熱伝導率測定の高精度化
- レーザー周期加熱カロリメトリー法による高温融体の熱容量, 熱伝導率, 放射率の非接触測定
- 溶融シリコンの非接触レーザーACカロリメトリー
- 食品の熱伝導率測定用プローブの開発
- 凝固あるいは再溶解過程中の Fe-O 合金プールにおけるマランゴニ対流
- 濃度差マランゴニ対流に基づく多元系化合物半導体融液の均一分散・混合化
- 化学工学の新しい応用分野
- シリコン液柱内マランゴニ対流の温度振動と温度分布
- 微小量カ状態を利用した半導体シリコンメルトのマランゴニ対流の温度振動の精密測定とマランゴニ対流モード : 溶液成長のその場観察III
- TR-IA-4号小型ロケットによるシリコンメルトマランゴニ対流の温度振動測定
- In-Sb系融液の均一分散・混合化実験(IML-2)の評価
- 超臨界アンモニア中での窒化ガリウムバルク単結晶育成プロセス
- 温度及び濃度勾配共存下での二成分系液膜層内相分離現象
- μg環境下におけるInGaSb結晶成長に関する研究 : (1)地上参照実験
- 微小重力下でのInGaSb結晶成長の数値解析 : 基礎II
- μg及び1g条件下での三元混晶半導体の溶解実験
- μg及び1g条件下での三元混晶半導体の溶解実験
- μg及び1g条件下での三元混晶半導体の溶解実験
- 微小重力下の局所加熱された矩形流路内の熱拡散現象
- Effects of gravity on Marangoni flow in liquid bridge of molten Tin
- 溶融錫の微細な液柱内の振動型マランゴニ対流
- 水熱合成法によるバルク単結晶育成時のオートクレーブの熱解析
- 宇宙環境利用と化学工学
- 25pZA-7 静磁場を重畳した電磁浮遊液滴の熱容量,熱伝導率,放射率同時測定法の開発(25pZA 領域6シンポジウム:浮遊法が開く液体・過冷却液体・ガラスの科学,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
- 静磁場と電磁浮遊による高温融体の新しい熱容量, 放射率, 熱伝導率同時測定法の開発
- 微小重力下における下側加熱された水平矩形流路内の熱流動
- 微小重力下における水平型コールドウォール熱CVD装置の熱流動 - 落下塔実験 -
- 水平コールドウォール型CVD装置の熱流動特性および熱拡散現象
- 微小重力における水平型コールドウォール熱CVD装置の熱流動
- 酢酸亜鉛を原料とするZnOのLPCVDにおける圧力効果
- 酢酸亜鉛を原料とするZnO薄膜のAPCVD
- A231 溶融錫液柱内の振動型マランゴニ対流の開始条件
- 非シリンドリカルな低Pr液柱内における3次元マランゴニ対流の数値解析
- ハーフゾーン液柱内の3次元マランゴニ対流の数値解析
- 微小重力環境下(IML-2)におけるIn-GaSb-Sb融液混合実験
- 九州地区における伝熱研究
- 表面張力対流の挙動
- 軸対称系における角関係の一計算法
- 酸化物単結晶育成における数値計算(バルク結晶の成長(I))
- 液膜を用いるガリウム,インジウムの分離濃縮プロセスに関する実験的,理論的研究
- チョタラルスキー炉内の流速・温度分布と熱応力解析
- CZ法によるSi単結晶成長に及ぼす輻射熱遮蔽体の影響 : 融液成長II
- CZ法による単結晶育成時の流動及び温度場の理論的解析 : 融液成長II
- 微小重力下での材料プロセス
- シミュレーションと熱物性
- 溶融NaOHの表面張力およびマランゴニ対流挙動
- Measurement of Thermal Diffusivity of Nonlinear Optical Polymer Thin Films Using Photoacoustic Method
- 下側加熱された水平型流路内の熱拡散現象
- ステップ状重力変化に対応した密封気体の熱流動の過渡特性
- NaOH水溶液による炭酸ガス吸収時の界面撹乱
- 溶融塩微少液柱内のマランゴニ対流-航空機実験-
- 溶融塩の微小液柱内のマランゴニ対流と周囲気体の対流 ---航空機実験---
- シリコン単結晶成長に関する最近の数値シミュレーション技術と熱物性値(バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)
- 宇宙利用
- F208 小型シリコンCZ炉の総合解析(オーガナイズドセッション17 : 材料およびデバイス製造の熱工学)
- 西村幸雄先生ご退官記念号発刊によせて
- 結晶成長炉のシミュレーション(高品質半導体結晶製造)
- 静磁場中非接触ACカロリメトリーによる溶融シリコンの熱容量, 放射率, 熱伝導率同時測定法の開発
- 宇宙環境と化学工学
- なぜ高温融体熱物性が必要か?