24aA1 総合熱解析によるCZ酸化物単結晶育成プロセスに及ぼす諸因子の検討(バルク成長VI)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
The global analysis of heat transfer In the CZ crystal growth furnace was carried out. Especially, the effects of internal radiation and crystal rotation on the melt/crystal Interface shape was Investigated numerically.
- 日本結晶成長学会の論文
- 1999-07-01
著者
-
宝沢 光紀
東北大学多元物質科学研究所
-
宝沢 光紀
東北大学反応化学研究所
-
塚田 隆夫
大阪府立大
-
小林 正樹
八戸工大工
-
小林 正樹
東北大反応研
-
萩野 貴子
東北大反応研
-
塚田 隆夫
東北大反応研
-
宝沢 光紀
東北大反応研
関連論文
- CMPプロセスにおける研磨粒子ダイナミクスの解明
- 単結晶育成用CZ炉の数値解析
- 01aC04 三次元非定常融液対流を考慮した酸化物単結晶育成CZ炉の総合熱解析(結晶成長基礎(1),第36回結晶成長国内会議)
- 温度及び濃度勾配共存下での低分子多成分系液膜層内相分離現象(オーガナイズドセッション4 材料創成プロセスと熱工学)
- シリコン単結晶成長に関する最近の数値シミュレーション技術と熱物性値
- 二液相分離過程を伴うベナール対流系のパターン形成メカニズム
- 酸化物融液表面上のスポークパターンに及ぼす諸因子の影響(機能性結晶IV)
- F209 酸化物単結晶内熱応力に及ぼす融液内対流及び内部輻射伝熱の影響(オーガナイズドセッション17 : 材料およびデバイス製造の熱工学)
- 多成分流体混合系のパターン形成に及ぼす重力の影響
- 小型のシリコンCZ炉内の酸素輸送とマランゴニ効果(バルク成長分科会特集 : 結晶成長時における気液界面の物質移動と結晶に与える影響)
- 24aA1 総合熱解析によるCZ酸化物単結晶育成プロセスに及ぼす諸因子の検討(バルク成長VI)
- 22pA7 Si Cz炉総合熱流動解析(バルク成長シンポジウム)
- 高周波加熱によるFloating Zone法による単結晶育成プロセスの熱解析
- 電磁浮遊炉内のシリコン液滴の挙動に及ぼす操作条件の影響
- SiCz炉総合熱解析に及ぼす結晶面輻射特性の影響
- 一様直流電場印加時の複合液滴の挙動に関する理論及び実験的研究
- 2-ブロモデカン酸による混合溶液中からのGaの抽出に及ぼす共存Alの影響
- CZ法による単結晶育成時の輸送現象に関する数値シミュレーション (「スーパーコンピューティングと複雑系としての流体科学」SCFS '97)
- 複合液滴の挙動に及ぼす直流電場の影響
- 一様直流電場下での誘電性液体中の液滴の挙動
- 数値シミュレーションと熱物性
- 03aA03 単結晶成長プロセスのシミュレーション技術の現状と将来(バルク成長シンポジウム(1),第36回結晶成長国内会議)
- 非接触レーザー周期加熱カロリメトリーによるシリコン融体の熱容量および熱伝導率測定の高精度化
- レーザー周期加熱カロリメトリー法による高温融体の熱容量, 熱伝導率, 放射率の非接触測定
- 溶融シリコンの非接触レーザーACカロリメトリー
- 食品の熱伝導率測定用プローブの開発
- 超臨界アンモニア中での窒化ガリウムバルク単結晶育成プロセス
- D132 温度・濃度勾配共存下での相分離構造形成の数値シミュレーション(熱の基礎と諸現象)
- 温度及び濃度勾配共存下での二成分系液膜層内相分離現象
- 今後の東北に期待して
- 大学における化学工学教育の現状と企業への期待
- 抽出と界面現象
- 乳化液膜法を用いた撹拌槽抽出装置のスケールアップに関する研究
- 化学工学の研究と教育所感
- 液膜分離プロセスの開発
- 水熱合成法によるバルク単結晶育成時のオートクレーブの熱解析
- 25pZA-7 静磁場を重畳した電磁浮遊液滴の熱容量,熱伝導率,放射率同時測定法の開発(25pZA 領域6シンポジウム:浮遊法が開く液体・過冷却液体・ガラスの科学,領域6(金属,超低温,超伝導・密度波))
- 静磁場と電磁浮遊による高温融体の新しい熱容量, 放射率, 熱伝導率同時測定法の開発
- 有機物質の脱塩への液膜法の応用 (液膜分離技術と応用)
- 液膜法とバイオ分離プロセス (新技術を支える拡散分離操作)
- 気泡・液滴現象の基礎と応用 (化学工学会賞関連)
- 化学工学における"師の自慢する弟子の研究"-9-気泡,液滴現象とヤング・ラプラスの式
- 軸対称系における角関係の一計算法
- 酸化物単結晶育成における数値計算(バルク結晶の成長(I))
- 液膜を用いるガリウム,インジウムの分離濃縮プロセスに関する実験的,理論的研究
- チョタラルスキー炉内の流速・温度分布と熱応力解析
- 単結晶製造プロセスにおける流動・伝熱 (高精度化への化学工学)
- CZ法によるSi単結晶成長に及ぼす輻射熱遮蔽体の影響 : 融液成長II
- CZ法による単結晶育成時の流動及び温度場の理論的解析 : 融液成長II
- 表面活性剤水溶液の表面流動と物質移動
- Measurement of Thermal Diffusivity of Nonlinear Optical Polymer Thin Films Using Photoacoustic Method
- NaOH水溶液による炭酸ガス吸収時の界面撹乱
- シリコン単結晶成長に関する最近の数値シミュレーション技術と熱物性値(バルク成長分科会特集-最先端デバイスと科学技術-)
- 静磁場中非接触ACカロリメトリーによる溶融シリコンの熱容量, 放射率, 熱伝導率同時測定法の開発