シリコン単結晶成長に関する最近の数値シミュレーション技術と熱物性値
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 2004-01-15
著者
-
宝沢 光紀
東北大学多元物質科学研究所
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宝沢 光紀
東北大学反応化学研究所
-
塚田 隆夫
大阪府立大
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塚田 隆夫
東北大学多元物質科学研究所
-
今石 宣之
九州大学先導物質化学研究所
-
水戸 光将
東北大多元研
-
水戸 光将
東北大学多元物質科学研究所
-
LI You-Rong
College of Power Engineering, Chongqing University
-
Li You-rong
College Of Power Engineering Chongqing University
-
Li Y‐r
College Of Power Engineering Chongqing University
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