F208 小型シリコンCZ炉の総合解析(オーガナイズドセッション17 : 材料およびデバイス製造の熱工学)
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概要
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The influence of crystal and crucible rotation on the silicon melt flow and oxygen transport in a small Czochralski (Cz) furnace is investigated by global numerical simulation for crystal rotation rates from 0 to 20rpm and for crucible counter-rotation rates from 0 to 2.5rpm. Results show that the rotations give significant effects on melt flow and oxygen transport. Effects of rotation rates on oxygen concentration distribution on the melt/crystal and melt/gas interfaces are examined.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2001-11-03
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