単一ステージによる圧電駆動三次元位置決め機構
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概要
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単一ステージを直接X,Y,Z軸方向に.入力変位を拡大して位置決めする機構を考案し,試作およびその評価をおこなった.得られた結果をまとめると次の通りである.<BR>(1)弾性ヒンジを用い一体構造形に構成されるこの微動位置決め機構をマトリックス構造解析法により解析し.設計をおこない,弾性ヒンジを用いた複雑な形状の解析において,マトリックス構造解析法が有効であることを明らかにした.<BR>(2)試作した三次元位置決め機構は,変位の拡大比がX.Y軸方向3,5-3.6倍で35μm,Z軸方向拡大比2.6倍で40μmの位置決め変位を得た.またこの変位に伴う角変位は.ヨーイング6.ローリング4およびピッチング6以下であった.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1996-01-05
著者
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