生成ダイヤモンド膜に及ぼすアーク放電プラズマジェットCVD装置の電極位置の影響
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概要
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- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1994-04-05
著者
-
吉川 昌範
東京工業大学
-
内田 孝宏
東京工業大学大学院
-
平田 敦
東京工業大学大学院
-
平田 敦
東京工大 大学院理工学研究科
-
平田 敦
東京工業大学 大学院理工学研究科 機械物理工学専攻
-
平田 敦
東京工業大学
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