集束イオンビームによるパイプ形状金属自立体膜の加工
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概要
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The application of a focused gallium ion beam to cutting of a free-standing nickel-titanium alloy film pipe was studied. The pipe was first cut at the part where beam irradiation angle was 40-50 degrees to the normal line of its upper side when a beam was scanned with an intersection angle of 90 degrees to the axis of the pipe. The beam penetrated from the kerf, and the underside of the pipe was cut from the inside. It took a long time to cut both the right and left ends of the pipe. However, they could be cut in a short time by scanning the beam so as to increase the number of ions irradiated to them in a unit time.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 1996-09-25
著者
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