磁気支持型駆動装置による高速微細放電加工モジュールの開発 : 高速高精度位置決め制御系の設計と加工実験による検証
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概要
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This paper discusses new actuators and controllers for micro-EDM. The authors propose 2 types of magnetic levitation actuators for micro-EDM and have designed a feed-forward and sensor compensator controller for the system. The practicality of the system was verified through experimentation, in which tracking error of ±1μm was proven. The gap controller designed consists of a micro-EDM module and a conventional drive unit to complement the stroke of the micro-EDM module. It has been confirmed that the new actuators and controllers have saved machining time, improved machined surface and reduced electrode wear.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 2006-06-05
著者
-
戸倉 和
東京工業大学大学院
-
中川 孝幸
三菱電機(株)
-
今井 祥人
三菱電機株式会社 先端技術総合研究所
-
中川 孝幸
三菱電機株式会社
-
三宅 英孝
三菱電機株式会社
-
中川 孝幸
三菱電機
-
今井 祥人
三菱電機(株)
-
中川 孝幸
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
三宅 英孝
三菱電機
-
戸倉 和
東京工業大学 工学部制御システム工学科
-
戸倉 和
東京工業大学
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