熱化学反応によるダイヤモンド膜の研磨 : 研磨メカニズムについて
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
Using the reactions between diamond and metal, diamond film has been polished by hot metal with low applied pressures and spinning speeds. In this report, the polishing mechanism of diamond is discussed experimentally. The polishing rates are in the same order as the diffusion coefficients of carbon in metal. Polishing performed in vacuum or hydrogen gas atmosphere advances much more quickly than in inert gas atmospheres. Although in a hydrogen gas atmosphere, diffused carbon react with hydrogen to form methane gas, and in vacuum, the diamond film is etched by residual oxygen gas, the polishing rates are not affected apparently. The dominant reaction between diamond and metal is thought to be the diffusion of carbon into metal.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1991-03-05
著者
関連論文
- 円すい面の超音波振動ラッピング
- 整形外科インプラント材としてのTiN被覆ステンレス鋼材の性質
- ダイヤモンド接触針による輪郭形状の離散的位置情報評価法
- 気相合成ダイヤモンドの超精密切削バイトへの適用
- 鋳鉄ボンドダイヤモンド砥石によるファインセラミックスのホーニング加工 : ガラスフィラー添加の効果
- ダイヤモンドの溝加工
- 熱化学反応によるダイヤモンド膜の研磨 : 研磨メカニズムについて
- 熱化学反応によるダイヤモンド膜の研磨 : 最適研磨条件の選定
- マイクロ波プラズマCVD法によるシリコンへのダイヤモンド気相合成(第2報) : 表面状態の核生成に及ぼす影響
- 熱化学反応を利用した膜状ダイヤモンド研磨機の試作および性能
- マイクロ波プラズマ CVD 法によるシリコンへのダイヤモンド気相合成(第1報) : 生成条件の選定および膜生成過程の観察
- セラミックス製ボールねじの試作(第2報) : 円筒状モデルによる窒化けい素とサイアロンの寿命試験
- ダイヤモンド高速合成用アーク放電プラズマ装置の試作
- 若手研究者は精密工学会に何を期待するか(1992年度精密工学会春季大会公開座談会)
- ペニングイオン源を用いたプラズマCVD装置の試作
- 気相合成ダイヤモンド粉の鉄鋼材料研削への試み
- ピストン・シリンダ形高圧力発生装置の研究 : 円すい形アンビルの耐圧強度について
- ホットプレス成形セラミックスの引張り試験法について
- 衝撃応力による表面残留応力の緩和
- 反応性アークイオンプレーティング法による炭素膜の高速合成
- メス操作バイラテラルマニピュレータの研究 -試作力覚センサの特性-
- 水作動液静圧軸受を用いた直動ステージの研究
- 水作動液を用いた対向型静圧軸受の設計計算法
- 水作動液を用いた静圧軸受の基礎的研究 : 各絞り要素の設計基準の確立
- ダイヤモンド薄膜と電子デバイス調査専門委員会
- 無コバルトWC焼結体によるダイヤモンドコーティング切削工具の作製
- 無コバルトWC焼結体によるダイヤモンドコーティング工具の作製
- 無コバルト炭化タングステン焼結体の機械的強度
- 無コバルト炭化タングステン焼結体の機械的強度
- 気相合成によるダイヤモンドのラップ工具への応用
- ねじ状砥石によるはす歯の創成加工機構
- 気相合成ダイヤモンド薄板の強度評価
- 鉄基粉の高温圧縮成形の研究 : 密度, 機械的性質と成形条件の関係
- CBN砥石によるコンタリング研削における高速研削性能
- CBN砥石による高速研削加工における連続研削時の性能
- CBN砥石による高速研削加工における初期研削時の性能
- MPRといしによるうねり面の超仕上
- MPRといしによるうねり面の超仕上
- 銅-ガラス粉末成形体の研究
- 銅・ガラス粉末成形体の研究
- Cu-Al圧粉体の焼結現象について : 圧粉体の焼結に関する研究(第3報)
- 銅基圧粉体の焼結時の膨張および収縮について : 圧粉体の焼結に関する研究(第2報)
- 銅基圧粉体の焼結時の寸法変化 : 圧粉体の焼結に関する研究(第1報)
- MPといレによるはだ焼鋼のホーン仕上
- MPといしによるはだ焼鋼のホーン仕上
- 固定砥粒によるジルコニアセラミックスの仕上
- 気相合成ダイヤモンド薄板の強度評価
- ダイヤモンド膜上への圧電体膜の合成
- 集束イオンビームによるパイプ形状金属自立体膜の加工
- チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)膜の衝撃エネルギーセンサへの適用
- 高分子ゲルのセンサへの適用
- 円すいダイヤモンドの引っかきによるアルミナ表面のき裂の生成について
- ダイヤモンド電着エンドレスワイヤ工具の試作 : 試作法と接合部評価
- エキシマレーザ照射によるCVDダイヤモンドのエッジ形成
- ArFエキシマレーザ照射によるCVDダイヤモンドの加工
- CO_2レーザ照射によるセラミック助剤焼結ダイヤモンドの切断特性
- YAG レーザ照射による焼結ダイヤモンドの加工
- YAG レーザ照射による気相合成ダイヤモンド薄板の加工
- YAGレーザ照射によるダイヤモンド粒の切断
- 鉄粉混合砥粒を用いた硬ぜい材料の平面磁気研磨法とその研磨特性
- ダイヤモンド電着ワイヤ工具の切断性能
- ダイヤモンド粒被膜ワイヤ工具の作製法
- ダイヤモンドコーティング工具による過共晶 Al-24%Si 合金の切削
- ダイヤモンドコーティング切削工具によるセラミックスの切削
- 高速回転基板上へのダイヤモンド合成
- アーク放電プラズマジェットCVD法によるダイヤモンド合成に及ぼす雰囲気圧力の影響
- 生成ダイヤモンド膜に及ぼすアーク放電プラズマジェットCVD装置の電極位置の影響
- ダイヤモンド電着エンドレスマルチワイヤ切断機の試作
- イオンビームスパッタ法によるPLZT薄膜の形成
- CVDダイヤモンドの平滑化加工
- CVDダイヤモンドの工具・機械部品適用拡大に向けて
- 表面除去による仕上げ加工技術の動向
- アルミニウム合金の半溶融加圧成形の研究 : 第4報,型成形体について
- アルミニウム合金の半溶融加圧成形の研究 : 第3報, 高けい素アルミニウム合金の機械的性質
- Si単結晶の電解バフ仕上の研究 (第2報) : 研摩材添加の電解液を使用した場合
- 鉄基粉の高温圧縮成形の研究 : 高速度鋼工具の製造およびその性質
- 単結晶フェライトの電解バフ仕上の研究
- Si単結晶の電解バフ仕上の研究 : 研摩材を使用しない場合 (第1報)
- 球状鋳鉄粉の成形に関する研究
- ビトリファイドボンドダイヤモンド砥石の成形に関する研究
- メス操作バイラテラルマニピュレータの研究 : 試作マニピュレータの特性
- La-Ni合金膜の作製と水素雰囲気での挙動
- ダイヤモンド粒のセラミックス被膜
- 電子ビーム励起プラズマ援用イオンビームスパッタリング法によるダイヤモンドライクカーボン膜の気相合成
- CVD ダイヤモンド焼結体の切削工具への適用
- ほう酸トリメチルをドーピング材料とする半導体ダイヤモンド合成
- ダイヤモンド加工変質層の観察法および単結晶ダイヤモンドへの適用
- CVDダイヤモンド切削バイトの加熱鉄板による刃先研磨装置の試作ならびにその特性
- 気相合成ダイヤモンド薄板エッジ部の研磨
- 材料 : ダイヤモンド,cBN,DLC(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
- 次世代カーボンテクノロジーへの挑戦(経済産業省フロンティアカーボンテクノロジー)(精密工学の最前線)
- 単結晶ダイヤモンド粒からの電界放出
- ダイヤモンド粉末からの電界放出
- 複合荷電粒子ビームによる炭素膜合成装置の試作および評価
- 球支持磁力駆動微動ステージの試作
- 力伝達バイラテラルマニピュレータの剛体接触時の振動抑制
- 放電焼結炭化タングステンを母材としたダイヤモンドコーティング工具の作製
- メス操作バイラテラルマニピュレータの研究 : バイラテラル制御系の設計
- 大学教育におけるモノづくり研究のヨロコビ
- 熱電子放出援用DCプラズマCVD装置によるダイヤモンド薄膜の合成