Walking Driveによる精密送り機構の開発(第1報) : Walking Driveの駆動原理と基本特性
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概要
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This paper presents a new method to feed a table smoothly over a long stroke by utilizing deformation of piezoelectric elements, which is named "Walking Drive." The principle of the method developed is similar to walking motion of animals such as human beings, dogs, spiders, centipedes and so on. The table is fed smoothly over a long stroke with the combinations of clamping and feeding motions of piezoelectric actuators controlled in synchronization despite the fact that the stroke of each piezoelectric element is limited. A precision feed system based on the walking drive was developed using a ceramic air slide, and the feasibility of the drive mechanism was confirmed.
- 公益社団法人精密工学会の論文
- 1993-02-05
著者
-
森脇 俊道
神戸大学工学部
-
社本 英二
神戸大学工学部機械工学科
-
申 興哲
Hyundai Precision & Ind. Co. Ltd.
-
森脇 俊道
摂南大
-
社本 英二
名古屋大 大学院
-
申 興哲
神戸大学自然科学研究科
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