Walking Driveを用いた超精密XYθテーブルの開発(第1報) -3本足駆動のアルゴリズムと装置-

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概要

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• 1999-03-05

著者

• 森脇 俊道

  神戸大学工学部

• 社本 英二

  神戸大学工学部機械工学科

• 森脇 俊道

  神戸大・工

• 森脇 俊道

  摂南大

• 村瀬 裕一

  大阪ガス(株)

• 村瀬 裕一

  神戸大学工学部

• 社本 英二

  名古屋大 大学院

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