イオン照射誘起ボンド変調によるSiGe擬似単結晶/絶縁膜の低温形成
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概要
著者
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権丈 淳
九州大学大学院システム情報科学
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角田 功
九州大学大学院システム情報科学
-
角田 功
九大 大学院
-
永田 朝洋
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
権丈 淳[他]
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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