高精度な炉内熱解析技術に基づくシリコン単結晶の点欠陥物性値
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概要
著者
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本岡 輝昭
九州大学大学院工学研究院材料工学部門
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本岡 輝昭
九州大学大学院工学研究科材料物性工学専攻
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本岡 輝昭
九大 大学院
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小野 敏昭
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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宝来 正隆
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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小野 敏昭
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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小野 敏昭
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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西元 学
株式会社SUMCO生産・技術本部
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中村 浩三
株式会社sumco生産・技術本部
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小野 敏昭
株式会社sumco生産・技術本部
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宝来 正隆
株式会社SUMCO生産・技術本部
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杉村 渉
株式会社SUMCO生産・技術本部
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