小野 敏昭 | 住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

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概要

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• 小野 敏昭

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• 小野 敏昭

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• 宝来 正隆

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 宝来 正隆

  株式会社SUMCO生産・技術本部

• 本岡 輝昭

  九州大学大学院工学研究院材料工学部門

• 野町 健

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 本岡 輝昭

  九州大学大学院工学研究科材料物性工学専攻

• 本岡 輝昭

  九大 大学院

• 奥井 正彦

  住友金属工業

• 浅山 英一

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 田中 忠美

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 西川 英志

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 梅野 繁

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 柳瀬 好生

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 定光 信介

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 田中 忠美

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 神田 忠

  住友シチックス(株)シリコン技術管理センター

• 梅野 繁

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 奥井 正彦

  住友金属工業(株)未来技術研究所

• 西元 学

  株式会社SUMCO生産・技術本部

• 中村 浩三

  株式会社sumco生産・技術本部

• 小野 敏昭

  株式会社sumco生産・技術本部

• 杉村 渉

  株式会社SUMCO生産・技術本部

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著作論文

• ボロンハイドープ結晶における点欠陥の挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
• CZシリコン結晶中のGrown-in欠陥の電子顕微鏡法による解析
• 低速育成シリコン結晶の成長時導入欠陥の形成機構
• 高精度な炉内熱解析技術に基づくシリコン単結晶の点欠陥物性値

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