田中 忠美 | 住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

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• 西川 英志

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• 宝来 正隆

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• 宝来 正隆

  株式会社SUMCO生産・技術本部

• 野町 健

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 浅山 英一

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 梅野 繁

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 小野 敏昭

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 奥井 正彦

  住友金属工業

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• 小野 敏昭

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• 奥井 正彦

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著作論文

• ボロンハイドープ結晶における点欠陥の挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
• Si結晶成長の欠陥制御技術(バルク成長分科会特集 : 結晶の完全性を目指して)
• シリコン結晶中の成長時導入欠陥の実態と生成挙動

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