奥井 正彦 | 住友金属工業
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概要
関連著者
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奥井 正彦
住友金属工業
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田中 忠美
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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奥井 正彦
住友金属工業(株)未来技術研究所
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小林 純夫
住友金属工業(株)総合技術研究所
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藤原 秀樹
住友金属工業(株)
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小野 敏昭
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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小林 純夫
住友金属工業(株)
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藤原 俊幸
住友金属工業(株)
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稲見 修一
住友金属工業(株)
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久保 高行
住友シチックス(株)
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明石 義弘
住友シチックス(株)
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宮原 俊二
住友金属工業
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久保 高行
住友金属工業
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戸倉 誠太郎
住友シチックス
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岡本 節男
住友シチックス
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辻本 康治
住友シチックス
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田中 忠美
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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西川 英志
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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宝来 正隆
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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神田 忠
住友シチックス(株)シリコン技術管理センター
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小野 敏昭
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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小野 敏昭
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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梅野 繁
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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宝来 正隆
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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西川 英志
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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梅野 繁
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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宝来 正隆
株式会社SUMCO生産・技術本部
著作論文
- 27aA2 DLCZ法によるシリコンの結晶成長(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
- 低速育成シリコン結晶の成長時導入欠陥の形成機構
- シリコン結晶中の成長時導入欠陥の実態と生成挙動