西川 英志 | 住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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概要
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著作論文
- ボロンハイドープ結晶における点欠陥の挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
- Si結晶成長の欠陥制御技術(バルク成長分科会特集 : 結晶の完全性を目指して)
- シリコン結晶中の成長時導入欠陥の実態と生成挙動