宝来 正隆 | 住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

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関連著者

• 宝来 正隆

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 宝来 正隆

  株式会社SUMCO生産・技術本部

• 小野 敏昭

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 田中 忠美

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 西川 英志

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 小野 敏昭

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 小野 敏昭

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 梅野 繁

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 野町 健

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 浅山 英一

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 梅野 繁

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 本岡 輝昭

  九州大学大学院工学研究院材料工学部門

• 本岡 輝昭

  九州大学大学院工学研究科材料物性工学専攻

• 本岡 輝昭

  九大 大学院

• 奥井 正彦

  住友金属工業

• 柳瀬 好生

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 定光 信介

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 田中 忠美

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 奥井 正彦

  住友金属工業(株)未来技術研究所

• 宝来 正隆

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 西川 英志

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 梅野 繁

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 西元 学

  株式会社SUMCO生産・技術本部

• 中村 浩三

  株式会社sumco生産・技術本部

• 小野 敏昭

  株式会社sumco生産・技術本部

• 杉村 渉

  株式会社SUMCO生産・技術本部

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著作論文

• ボロンハイドープ結晶における点欠陥の挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
• Si結晶成長の欠陥制御技術(バルク成長分科会特集 : 結晶の完全性を目指して)
• CZシリコン結晶中のGrown-in欠陥の電子顕微鏡法による解析
• シリコン結晶中の成長時導入欠陥の実態と生成挙動
• 高精度な炉内熱解析技術に基づくシリコン単結晶の点欠陥物性値

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