CZシリコン結晶中のGrown-in欠陥の電子顕微鏡法による解析
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概要
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- 日本電子顕微鏡学会の論文
- 1999-11-30
著者
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小野 敏昭
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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宝来 正隆
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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梅野 繁
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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柳瀬 好生
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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定光 信介
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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小野 敏昭
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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小野 敏昭
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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梅野 繁
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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宝来 正隆
株式会社SUMCO生産・技術本部
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