<シリコン中の結晶成長時導入欠陥の正体に迫る> シリコン結晶中の成長時導入欠陥の実態と生成挙動
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概要
著者
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奥井 正彦
住友金属工業
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田中 忠美
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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西川 英志
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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宝来 正隆
住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター
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田中 忠美
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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梅野 繁
住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター
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奥井 正彦
住友金属工業(株)未来技術研究所
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宝来 正隆
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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西川 英志
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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梅野 繁
住友シチックス(株)シリコン研究開発センター
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宝来 正隆
株式会社SUMCO生産・技術本部
関連論文
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