定光 信介 | 住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

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概要

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関連著者

• 小野 敏昭

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 宝来 正隆

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 梅野 繁

  住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

• 柳瀬 好生

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 定光 信介

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 小野 敏昭

  住友シチックス(株)シリコン研究開発センター

• 小野 敏昭

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 梅野 繁

  住友金属工業(株)シチックス事業本部 シリコン製造所研究開発センター

• 宝来 正隆

  株式会社SUMCO生産・技術本部

著作論文

• CZシリコン結晶中のGrown-in欠陥の電子顕微鏡法による解析

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