野町 健 | 住友金属工業(株)シチックス事業本部研究開発センター

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著作論文

• ボロンハイドープ結晶における点欠陥の挙動(シリコン結晶成長における酸素輸送と欠陥制御)
• Si結晶成長の欠陥制御技術(バルク成長分科会特集 : 結晶の完全性を目指して)

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